等離子清洗機

一、設(shè)備介紹：

PT1000-PE等離子清洗機是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。

二、設(shè)備參數(shù)：

型號：PT1000-PE

腔體材質(zhì)：鋁合金

供電電源：AC220V

射頻電源功率：0-150W 可調(diào)

射頻頻率：40KHz

真空度：≤100Pa

氣體路數(shù)：雙路

氣體流量：0.1—1L/min(可調(diào))

控制：觸屏/手動

清洗時間：0—300 秒連續(xù)可調(diào)

內(nèi)腔尺寸：226mm*126mm*255mm（寬*高*深）

外形尺寸：471mm*380mm*478mm（寬*深*高）

重量：≈30KG

真空泵：愛特，ARV-4

等離子清洗機

三、設(shè)備的優(yōu)點：

1、滿足8寸以下基片使用，適用性廣。

2、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗、機臺本身不產(chǎn)生污染物。

3、高效清洗，快速達成需要的表面親水性。

4、應(yīng)用廣泛，且對處理產(chǎn)品無損傷，不改變材料特性。